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제품특징
1. Sensor : QCM (quartz crystal micro-blance)
2. Bulk Gas로부터 UHP(Ultra High Purity) Gas에 이르는 다양한 수분분석에 적합
3. PPM/PPB Level등에 각각 사용 가능한 다양한 Model
4. Multi-Gas(N2, O2, etc) 및 특수 Gas 분석에 적용 가능
5. Recombination으로 인한 오차 미발생
6. 추가적인 유지 비용이 거의 없다.
7. 다양한 분야에의 응용
- Bulk Gas/Cylinder Gas 분석
- Clean tube 용접(반도체 및 Bio etc.)
- 반도체 관련 산업 가스 분석 (wafer제조, Fiber Obtical 케이블, 기타 Medical Gas)



모델 별 사양 비교
  5800 5830 5910UHP 5920UHP
Compatible
Gases
비활성가스(He, Ar, Ne, Xe, Kr), 산소(O₂),
수소(H₂), 질소(N₂), NO, CO, 탄화수소,
공기, SF6같은 특수가스, CO₂
비활성가스(He, Ar, Ne, Xe, Kr), 수소(H₂),
질소(N₂), 산소(O₂)
Range
0~1000 ppm 0~1000 ppm 0~1 ppm 0~1 ppm
Accuracy

99.99%

±20 ppb,
측정값의 ±5%
±20 ppb,
측정값의 ±10%
±0.1 ppb,
측정값의 ±10%
±0.1 ppb,
측정값의 ±10%
95%
감도(sensivity)
(둘중 큰값)
5ppb 또는
측정값의 0.5%
5ppb 또는
측정값의 0.5%
- 1ppb
LOD
20ppb 20ppb 0.15ppb 1ppb
Communication
Analog output,
RS485
Analog output,
RS232
Analog output,
RS232
Analog output,
RS232
자동교정 x o o o
W x H x D
(unit:cm )/Weight
43.2 x 13.2 x 38.1
16.79 Kg
48 x 13 x 42
9.8 Kg
48 x 17.7 x 50.9
15.9 Kg
48 x 17.7 x 50.9
15.9 Kg


제품의 원리






Model


⊙ Model : 5920

- LOD : 1 ppb
- Accuracy : ±1 ppb or ±10% of the reading Internal zero system
- W x H x D / weight : 48cm x 17.7cm x 50.9cm / 15.9 Kg
- Range : 0 ~ 1 ppb



⊙ Model : 5910

- LOD : 0.15 ppb
- Accuracy : ±100ppt or ±10% of the reading internal zero system
- W x H x D / weight : 48cm x 17.7cm x 50.9cm / 15.9 Kg
- Range : 0 ~ 1 ppb



⊙ Model : 5800

- LOD : 20 ppb
- Accuracy : ±20 ppb,측정값의 ±5%
- W x H x D / weight : 43.2cm x 13.2cm x 38.1cm / 16.79 Kg
- Range : 0 ~ 1,000 ppm



⊙ Model : 5830

- LOD : 20 ppb
- Accuracy : ±20 ppb,측정값의 ±10%
- W x H x D / weight : 48cm x 13cm x 42cm / 9.8 Kg
- Range : 0 ~ 1,000 ppm



⊙ Model : 3050-AM

- LOD : 100 ppb
- Accuracy : ±100 ppb,측정값의 ±10%
- W x H x D / weight : 48.3cm x 13.3cm x 41.9cm / 9.8 Kg
- Range : 0 ~ 100 ppm