Untitled Document






개요
이상이 생긴 반도체 장비 part를 버리고 새로사는 것이 아니라, 사용 가능하게 재생을 함으로써, 낮은 비용과 환경보호를 목적으로 한다. Ace Co.는 이 분야의 전문업체이다.


제품 특징

< Process Consumable Parts Solution >
1. OEM Part와 항상 동일한 품질의 제품을 엄선하여 공급합니다.
2. 독성 Part 폐기로 인한 환경문제 유발요인을 차단하여 거래사의 대외이미지 개선 및 폐기물 처리 비용 감소
3. 600여종 이상의 OEM Parts 및 Customer 요청에 의한 주문 제작가능

< ACE Co. 의 Strength >
1. 반도체 소모품 산업의 역사
2. ISO 9001 인증
3. World wide support
4. In house engineering & technical support
5. 질높은 제품에 경쟁력있는 가격



Susceptor 재생 과정

1. Customer에 의해 part가 Ace Co로 보내진다.
2. Susceptor를 분해하여 각각의 Parts를 검사한다.
3. Ceramic에 알맞은 Cleaning Process를 진행한다.
4. 전기적으로 알맞은 parameter value에 해당하는 Thermocouple를 교체 한다.
5. 정전용량 test를 실시한다.
6. 다음 온도에서 Thermocouple을 test 한다. Test Temperature (℃) : 300, 350, 400, 450
7. Al2O3 Platter를 교체한다.
8. Susceptor를 오염 물질이 제거된 Cleaning area에서 새로 조립한다.
9 .마지막으로 Susceptor를 Cleaning Room에서 세척하고 포장한다.



제품소개
⊙ Applied Materials




- 6" & 8" susceptor Rebuilt
- Refurbishment for P-Chuck & C-chuck
- 각종 Electrode
- Shower Head
- GDP
- Aluminum Blocker Plates
- MxP Chamber Liner (Refubished)

▶ P-Chuck 사용 불량의 예
1. Thermocouple & Ground wire의 불량
2. A lost of conductance
3. P-chuck platter의 위쪽 표면의 불량

▶ P-Chuck 재생
1. Platter 세척
2. Ceramic part의 세척
3. Thermocouple/Ground Wire의 교체 및 P-chuck
    Calibration
4. QC/QA Test

▶ P-Chuck 재생으로 인한 효과
1. 30%이상의 비용절감
2. 뛰어난 품질
3. 환경문제 및 폐기비용의 절감


⊙ TEL(Tokyo Electron Limited)


- Silicon/Graphite Electrode
- Upper Electrode
- Focus Ring
- Deposition Shield
- Deposition Windows
- Refurbished ESC Chuck
- Bellows Cover
- Exhaust Ring
- Others



⊙ Lam Research


- Upper / Lower Electrode
- Shower Head
- Focus Ring
- Baffle
- NRE Electrode



⊙ Novellus



- Shower head
- Gas dispersion
- Others



⊙ AMAT Producer Heater Pedestal Refurbishment