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제품 원리

Filament에서 전자를 방출하고, 그 방출된 전자가 Process Chamber 내에 있는 Sample Gas의 분자들을 이온화시킨다. 그 이온화된 Sample Gas의 분자들은 Mass Filter를 통하여 특정 질량을 가진 분자만이 Mass Filter를 통과하게 되고, 나머지는 걸러지게 된다. 이를 통해서 Detector가 이러한 분자이온들을 검출한다.


모델 별 사양 비교
  Dymaxion LC Proline
측정범위 (AMU)
1-100, 1-200, 1-300 1-100 (1-200 optional)
1-100
(1-200, 1-300 optional)
Inlet pressure 10⌒-4torr 이하
(max. 10⌒-12까지 detection)
10⌒-4torr 이하
(max. 10⌒-12까지 detection)
2~20psi
Min. detectable
부분압
5×10⌒-12torr 5×10⌒-12torr 1ppm-100%
분석방법 정성분석 정성분석 정량분석


제품소개


1. 정성분석
2. 측정범위(AMU) : 1~100/1~200/1~300optional
3. sample pressure : 10-4torr 이하
    (단, 그 외의 pressure에서 사용시 별도의 pumping system필요)
4. 1대 PC로 여러 대의 Head 분석 가능 / RS-485 통신




1. 정성분석
2. 측정범위(AMU) : 1~100/1~200 optional
3. sample pressure : 10-4torr 이하
    (단, 그 외의 pressure에서 사용시 별도의 pumping system필요)




1. 정성·정량분석
2. 측정범위(AMU) : 1~100/1~200/1~300optional
3. sample pressure : 2psi~20psi (103.4torr~1034torr)
4. Inlet port : 8port (단, 16port까지 확장 가능)
5. detection range : 1ppm~100%




1. Gas 분석에 필요한 장비를 하나의 system으로 구축.
2. Vacuum pumping system
3. Analog / Digital input & output
4. 이동이 용이하여 다양한 accessories 등 범용으로 사용가능



Ametek RGA를 실공정에서 사용한 data




⊙ RGA Application
1. Semiconductor(CVD / ETCH / PVD) 공정 중 gas monitering 및 분석 가능
2. 촉매 / 반응 공학에 응용
3. GC, FTIR, TG등 다양한 분석기와 호환가능
4. Vacuum Furnaces
5. Atomospheric Sampling 분석 가능
6. PFC Screbber의 배기 gas 분석에 응용